產(chǎn)品簡介
該儀器為接觸式測量。X軸采用高精密的摩擦導(dǎo)軌為基準,Z1軸采用數(shù)字傳感器,觸針輕觸表面,傳感器記錄初始位置,驅(qū)動機構(gòu)帶動測頭沿設(shè)定路徑移動,觸針隨表面起伏,傳感器實時記錄觸針位移,測繪出被測零件的表面輪廓形狀的坐標點,通過計算機的軟件對傳感器采集的原始數(shù)據(jù)進行數(shù)學(xué)運算處理,標注所需的測量項目。廣泛應(yīng)用于機械制造,汽車工業(yè),航空航天,電子元器件等領(lǐng)域。用于檢測工件的輪廓精度,表面形狀誤差等。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1. 接觸式測量通過探針接觸物體表面,記錄探針的位移變化生成輪廓曲線,精度高(可達納米級),但可能劃傷軟性材料
2. 原始數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出保存,便于多次標注
3. 具有測針自動接觸、自動抬起、自動回退功能
4. 無需轉(zhuǎn)換傳感器、測針;實現(xiàn)一次測量,粗糙度、輪廓儀同時分析
5. 一次測量,可分析工件不同區(qū)域粗糙度,提高測量效率
6. X軸采用低摩擦直線導(dǎo)軌,精度高,壽命長,穩(wěn)定性極佳
7. X-Z1軸采用高精度傳感器,精度高、線性好
8. 支持圖形自由旋轉(zhuǎn)擺正
9. 通過測針的跟蹤,可檢測工件的最大點,易于位置調(diào)節(jié)
10.軟件自動記錄初次工件擺正位置
應(yīng)用領(lǐng)域
1、工業(yè)制造:檢測機械零件的尺寸、圓度、直線度粗糙度,驗證模具、齒輪、螺紋的加工精度。
2、半導(dǎo)體與電子:測量晶圓表面平坦度、刻蝕深度,PCB焊點高度檢測,測量芯片、電路板等微小元件的輪廓精度。
3、光學(xué)與醫(yī)療:鏡頭曲率、光纖端面形貌分析,人工關(guān)節(jié)表面拋光質(zhì)量檢測。
4、科研領(lǐng)域:材料表面微觀結(jié)構(gòu)分析(如摩擦學(xué)、涂層研究)。
5、汽車工業(yè):測量發(fā)動機零件、齒輪、軸承等關(guān)鍵部件的輪廓。
6、航空航天:檢測飛機發(fā)動機葉片、機身結(jié)構(gòu)等復(fù)雜形狀。
基本原理
測量軟件
軟件界面設(shè)計簡潔,布局合理。采用最新架構(gòu)和設(shè)計風格,用戶極易上手,輪廓測量和粗糙度測量可同時進行
技術(shù)規(guī)格
輪廓參數(shù) | 測量范圍 | X軸 | 100mm (分辨率0.1μm) |
Z軸 | 500mm | ||
Z1軸 | 40mm(分辨率0.05μm) | ||
輪廓精度
| X軸示值誤差 | ≤(0.8+0.03L)μm | |
Z1軸示值誤差 | ≤(0.8+|0.08H|)μm | ||
圓弧測量誤差 | ≤(1.2+R/8)μm | ||
角度精度 | ≤±1′ | ||
直線度 | 0.8μm/100mm | ||
粗糙度部分 | 殘值噪聲 | ≤0.010μm | λc 為0.08mm,測量速度 為 0.1mm/s,測量平晶 |
粗糙度測量重復(fù)性 | 1δ≤2nm | 采用 Ra 為0.35-0.5μm 的方波標準件 | |
粗糙度示值誤差 | ≤±(10nm+3.5%) | ---------- | |
粗糙度示值穩(wěn)定性 | ≤±7% | ---------- | |
粗糙度測量重復(fù)性
| ±3% | ---------- | |
評定長度 | λc×1、2、3、4、5、6、7 | ---------- | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ---------- | |
濾波器 | Gaussian Filter | ---------- | |
爬坡角度 | 向上77°、向下88° | ---------- | |
測量速度 | 0.02~5.0mm/s | ---------- | |
測量方式 | 傳感器移動 | ---------- | |
XZZ1 | 三軸電動控制 | 軟件手柄都可控制 | |
電源 | AC 220V±10% 50Hz | ---------- | |
環(huán)境要求 |
以上參數(shù)均在 20℃± 2℃,相對濕度(RH):40%-60% RH 使用標準器具下測得
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配置清單
序號 | 名稱 | 數(shù)量 | 單位 | 備注 |
1 | 主機 | 1 | 臺 | / |
2 | 電腦 | 1 | 個 | / |
3 | 顯示器 | 1 | 個 | / |
4 | 鼠標/鍵盤 | 1 | 個 | / |
5 | 測量軟件 | 1 | 份 | / |
6 | 工具箱 | 1 | 個 | / |
7 | 加密狗 | 1 | 個 | / |
8 | 產(chǎn)品說明書 | 1 | 份 | / |
9 | 產(chǎn)品合格證、保修卡 | 1 | 份 | / |
10 | 輪廓標準器 | 1 | 套 | / |
11 | 標準治具 | 1 | 套 | / |
12 | 測桿 | 1 | 根 | / |
13 | 輪廓測針 | 2 | 根 | / |
14 | 粗糙度測針 | 1 | 根 | / |
15 | 設(shè)備插排 | 1 | 個 | / |
16 | 無線網(wǎng)卡 | 1 | 個 | / |
17 | 打印機 | 1 | 個 | / |
18 | 粗糙度樣塊 | 1 | 個 | / |